Vaculub X189 半导体洁净室高真空润滑脂
描述:
塞维欧Vaculub X189 半导体洁净室高真空润滑脂是基于微过滤的直链全氟聚醚油(PFPE),并使用平均粒径<0.8 微米的特制聚四氟乙烯(PTFE)粉末经特殊工艺稠化而成。该产品优化了生产工艺,通过烘烤、预抽气降低挥发风险。在拥有较低释气率的同时,兼顾低发尘特性。完美的解决了在真空和高温下油脂挥发、释放颗粒物等问题,是一款综合性能优异的半导体设备使用润滑脂。
优势:
- 低颗粒释放,运动不大量掉粉;
- 洁净 100 级标准,粒子释放少,适合无尘洁净室;
- 不含全氟辛酸 (PFOA),符合环境法规;
- 胶体安定好、析油少,不容易爬油迁移;
- 耐磨、微动抗微动磨损(微振防啃伤)。
产品参数:
性能 | 数据 |
颜色 | 目测 |
质地 | 光滑 |
气味 | 温和 |
比重,@ 77°F(25°C) | 1.95 |
滴点,ASTM D-2265 | 无 |
粘度,cSt @ 40℃ | 200 |
锥入度,ASTM D-217 @ (25℃) | 265-295 |
油分离率wt%(100°Cx24h) | 2.0以下 |
蒸汽压,20℃,Pa | 1x10-8 |
粒子发射率,50N,1000min-1(内圈旋转)20h | 较低 |
蒸发量wt%(99°Cx22h) | 0.1以下 |
工作温度,℃ | -50~250 |
保质期(未打开全密封) | 5年 |
所给数据资料均为典型代表值。允许有不影响其性能的轻微变化在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。 |
应用:
适用于半导体、高温、真空、无尘室等特殊环境使用,如:晶片处理机器人、晶圆制造设备内定位和传送晶圆。这些润滑剂需要满足清洁度要求,在存在腐蚀性工艺气体和化学物质的环境中耐腐蚀,同时在最小动态颗粒生成的情况下保持使用的稳定性。
包装:
1kg/罐装 订货号 470318
存储:
干燥处