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Vaculub B042 抗EUV光源辐射润滑脂
描述:
塞维欧Vaculub B042 抗EUV光源辐射润滑脂 是由高纯度的直链全氟聚醚油,纳米级超精细PTFE稠化。并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。是专用于EUV 极紫外光刻设备腔体内部、在超高真空与 EUV 极紫外高能光子持续辐照环境下工作的特种洁净润滑脂。
优势:
  • 蒸气压极低挥发性低,不释放碳氢小分子,防止污染 EUV 光学系统;
  • 在 EUV 光长时间照射下,分子不容易裂解,不会快速变稀变硬结焦;
  • C-F键键能极高,可直接抵御EUV高能光子轰击,分子结构不易降解;
  • 耐等离子体、抗光刻腔内活性气体,不腐蚀金属、光学元件;
  • 极低的离油度,基油的飞散减少,可以抑制基油飞散造成的晶圆污;
  • 无硅无卤素,不会出现“蠕变迁移”问题,避免污染EUV光学镜片;
  • 具有极高的化学稳定性,不与酸、碱和高活性物质发生反应。
产品参数:

性能

数据

颜色

目测

质地

光滑

气味

温和

比重,@ 77°F(25°C)

1.95

滴点,ASTM D-2265

无

粘度,cSt @ 40℃

400

锥入度,ASTM D-217 @ (25℃)

265-295

蒸汽压,20℃,Pa

5x10-14

工作温度,℃

-30~280

保质期(未打开全密封)

5年

所给数据资料均为典型代表值,允许有不影响其性能的轻微变化,在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。

应用:
适用于EUV 光刻机真空腔体内精密运动部件:晶圆台、掩膜台、直线导轨、精密滚珠轴承、真空丝杆、真空阀门转轴等。
包装:
1kg/罐装 订货号 381995
存储:
干燥处                                                                                                       
Vaculub B042 抗EUV光源辐射润滑脂
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