Vaculub B042 抗三氟甲烷润滑脂
描述:
塞维欧
Vaculub B042 抗三氟甲烷润滑脂 是由高纯度的直链全氟聚醚油,纳米级超精细PTFE稠化。并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专为接触三氟甲烷(CHF₃,半导体制造中常用的含氟蚀刻特种气体)的极端工况定制的特种全氟聚醚(PFPE)润滑脂。
优势:
- 耐受三氟甲烷及其他含氟特种气体的长期接触,不溶解、不分解、不产生反应杂质;
- 摩擦系数可低至0.05,保障精密传动部件长期低磨损运行;
- 与氟橡胶、PTFE密封件及绝大多数工程塑料完全兼容,无溶胀风险。
产品参数:
性能 | 数据 |
颜色 | 目测 |
质地 | 光滑 |
气味 | 温和 |
比重,@ 77°F(25°C) | 1.95 |
滴点,ASTM D-2265 | 无 |
粘度,cSt @ 40℃ | 400 |
锥入度,ASTM D-217 @ (25℃) | 265-295 |
蒸发损失,ASTM D972,99℃×22h,wt,% | 0.1 |
工作温度,℃ | -30~280 |
保质期(未打开全密封) | 5年 |
所给数据资料均为典型代表值,允许有不影响其性能的轻微变化,在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。 |
应用:
适用于半导体制造,三氟甲烷蚀刻工艺的真空阀门、O型圈密封、晶圆传输机械臂轴承润滑密封,化工腐蚀工况:接触三氟甲烷介质的反应釜轴承、泵轴、旋塞阀等部件的极端工况润滑。
包装:
1kg/罐装 订货号 381995
存储:
干燥处