Vaculub B042 真空机器人润滑脂
描述:
塞维欧Vaculub B042 真空机器人润滑脂 是由高纯度的直链全氟聚醚油,纳米级超精细PTFE稠化。并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。是专用于真空腔体内机器人(最常见是半导体晶圆搬运机械手)关节、轴承、导轨的特种润滑脂,属于超高真空低析气润滑脂,核心目标:减少摩擦磨损,同时不能挥发污染腔体、晶圆、光学元件。
优势:
- 经深度脱除小分子,总质量损失 TML、可凝挥发物 CVCM 低;
- 配方纯净,关节反复旋转、摆动剪切时,不容易产生微小固体碎屑;
- 长时间平稳运转,降低摩擦,延长机械手寿命,减少维护周期;
- 低的离油度,基油的飞散减少,可以抑制基油飞散造成的晶圆污;
- 具有极高的化学稳定性,不与酸、碱和高活性物质发生反应。
产品参数:
性能 | 数据 |
颜色 | 目测 |
质地 | 光滑 |
气味 | 温和 |
比重,@ 77°F(25°C) | 1.95 |
滴点,ASTM D-2265 | 无 |
粘度,cSt @ 40℃ | 400 |
锥入度,ASTM D-217 @ (25℃) | 265-295 |
蒸汽压,20℃,Pa | 5x10-14 |
工作温度,℃ | -30~280 |
保质期(未打开全密封) | 5年 |
所给数据资料均为典型代表值,允许有不影响其性能的轻微变化,在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。 |
应用:
适用于半导体晶圆真空机械手(真空机器人),用于镀膜、刻蚀、离子注入等真空工艺腔体内部,负责抓取、传送晶圆;也用于真空镀膜设备机器人、航天真空测试舱内机械手等精密真空运动机构。润滑部位:机器人旋转关节、谐波轴承、交叉滚子轴承、导轨、O 型密封圈。
包装:
1kg/罐装 订货号 381995
存储:
干燥处