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Lovolub B149 晶圆分练机润滑脂
描述:
塞维欧 Lovolub B149 晶圆分练机润滑脂是摩擦系数极低的直链全氟聚醚油,超精细纳米级PTFE稠化,并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专用在晶圆分选设备(挑片、检测、分类、搬运晶圆的半导体后道设备)的精密运动部件上。
优势:
  • ASTM E595 测试,TML、CVCM 极低,高温下不会挥发油雾冷凝在硅片‌;
  • 精密低扭矩,摩擦稳定,定位机构重复定位精度,动作顺滑无卡顿;
  • 洁净无杂质:无固体大颗粒,避免划伤精密螺纹或污染光路;
  • 在200℃以上高温环境下不会发生裂解,无积碳、无有害微粒生成‌。
产品参数:

性能

数据

颜色

目测

质地

光滑

气味

温和

比重,@ 77°F(25°C)

2.0

滴点,ASTM D-2265

无

粘度,cSt@40℃

150

锥入度,ASTM D-217 @ (25℃)

265-295

四球测试, ASTM D2596,N  

3000

蒸汽压,20℃,Pa

2x10-7

总质量损失,ASTM E 595-90(TML)

0.19%

挥发性冷凝物,ASTM E 595-90(CVCM)

0.05%

工作温度,℃

-50~250

保质期(未打开全密封)

5年

所给数据资料均为典型代表值,允许有不影响其性能的轻微变化,在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。

应用:
主要用于晶圆分选机内部:滚珠丝杠、线性导轨、精密轴承、机械手关节、气缸、凸轮、微小滑动副。
包装:
1kg/罐装 订货号 206312
存储:
干燥处                                                                                                 
Lovolub B149 晶圆分练机润滑脂
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