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Vaculub S033 半导体晶圆定位台润滑脂
描述:
塞维欧 Vaculub S033 半导体晶圆定位台润滑脂是由蒸汽压极低的直链全氟聚醚油,超精细PTFE稠化,并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专为半导体晶圆定位台(精密运动平台、包含直线导轨、滚珠丝杠、交叉滚子轴承、微动滑台)开发的特种真空润滑脂。
优势:
  • 高精度润滑、摩擦稳定:摩擦力波动小,保障定位台重复定位精度;
  • 在微滑动接触面形成极薄油膜,减小微动摩擦,提升定位线性度;
  • 耐受刻蚀、沉积工艺气体,不和腔体里塑料、金属、密封件发生反应;
  • 抗微振磨损,抑制振动、共振,改善阶跃响应,避免振荡;
  • 适应腔体烘烤、工作温升,高温不碳化、低温不凝固卡顿。
产品参数:

性能

数据

颜色

目测

质地

光滑

气味

温和

比重,@ 77°F(25°C)

1.97

滴点,ASTM D-2265

无

粘度,cSt @ 40℃

70

锥入度,ASTM D-217 @ (25℃)

275-315

四球测试, ASTM D2596,N  

2500

蒸汽压,20℃

1x10-10

工作温度,℃

-70~220

所给数据资料均为典型代表值,允许有不影响其性能的轻微变化,在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。

应用:
适用于晶圆定位台内部:滚珠丝杠、直线导轨、交叉滚子轴承、微小进给滑台、Z 轴 / XY 精密运动模组。
包装:
1kg/罐装 订货号 252103
存储:
干燥处                                                                                                
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