Vaculub S033 半导体晶圆定位台润滑脂
描述:
塞维欧 Vaculub S033 半导体晶圆定位台润滑脂是由蒸汽压极低的直链全氟聚醚油,超精细PTFE稠化,并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专为半导体晶圆定位台(精密运动平台、包含直线导轨、滚珠丝杠、交叉滚子轴承、微动滑台)开发的特种真空润滑脂。
优势:
- 高精度润滑、摩擦稳定:摩擦力波动小,保障定位台重复定位精度;
- 在微滑动接触面形成极薄油膜,减小微动摩擦,提升定位线性度;
- 耐受刻蚀、沉积工艺气体,不和腔体里塑料、金属、密封件发生反应;
- 抗微振磨损,抑制振动、共振,改善阶跃响应,避免振荡;
- 适应腔体烘烤、工作温升,高温不碳化、低温不凝固卡顿。
产品参数:
性能 | 数据 |
颜色 | 目测 |
质地 | 光滑 |
气味 | 温和 |
比重,@ 77°F(25°C) | 1.97 |
滴点,ASTM D-2265 | 无 |
粘度,cSt @ 40℃ | 70 |
锥入度,ASTM D-217 @ (25℃) | 275-315 |
四球测试, ASTM D2596,N | 2500 |
蒸汽压,20℃ | 1x10-10 |
工作温度,℃ | -70~220 |
所给数据资料均为典型代表值,允许有不影响其性能的轻微变化,在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整,此处包含的信息如有更改,恕不另行通知。 |
应用:
适用于晶圆定位台内部:滚珠丝杠、直线导轨、交叉滚子轴承、微小进给滑台、Z 轴 / XY 精密运动模组。
包装:
1kg/罐装 订货号 252103
存储:
干燥处