Vaculub S033 高精度晶圆对位台润滑脂

描述：

塞维欧Vaculub S033 高精度晶圆对位台润滑脂是由蒸汽压极低的直链全氟聚醚油，超精细PTFE稠化,并添加特种抗腐蚀添加剂精制而成的。专用于晶圆对位台工件台内部滚珠丝杠、直线导轨、精密轴承、微小滑动副，在洁净室甚至真空环境下润滑，保障纳米级重复定位精度，同时不能污染晶圆、光学镜头。

优势：

产品参数：

性能	数据
颜色	目测
质地	光滑
气味	温和
比重，@ 77°F（25°C）	1.97
滴点，ASTM D-2265	无
粘度，cSt @ 40℃	70
锥入度，ASTM D-217 @ （25℃）	275-315
四球测试， ASTM D2596，N	2500
蒸汽压，20℃	1x10-10
工作温度，℃	-70~220
所给数据资料均为典型代表值，允许有不影响其性能的轻微变化，在正常生产过程中可能有不影响产品性能的调整，此处包含的信息如有更改，恕不另行通知。